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X射線熒光光譜儀激發樣品的光源主要包括具有各種功率的X射線管、放射性核素源、質子和同步輻射光源。波長色散X射線熒光光譜儀所用的激發源是不同功率的X射線管，功率可達4~4.5kW，類型有側窗、端窗、透射靶和復合靶。能量色散X射線熒光光譜儀用的激發源有小功率的X射線管，功率從4~1600W，靶型有側窗和端窗。靶材主要有Rh、Cr、W、Au、Mo、Cu、Ag等，并廣泛使用二次靶。現場和便攜式譜儀則主要用放射性核素源。激發元素產生特征X射線的機理是必須使原子內層電子軌道產生電子空位。...